VP-R系列真空等離子清洗機
VP-R系列真空等離子處理儀對標國際品牌，*技術空白（專li：低溫真空石英腔體等離子清洗裝置），VP-R系列頻率13.56MHz，能對材料起到清潔、刻蝕、活化、改性的作用，滿功率運行30分鐘，腔體溫度不高于32℃，不損傷樣品，適用于微流控芯片PDMS鍵合、ITO導電玻璃、石墨烯、纖維、單晶硅片、PET、二氧化硅等幾乎所有材料的PLASMA處理。
VP-R系列真空等離子清洗機特點
VP-R系列真空等離子清洗機優勢
01 Better Reliability，Better Operation
內置兩路氣路，氣體流量可調，無需再搭配氣體混合儀
zuan利軟件、操作簡易，智能化設計，避免誤操作
采用數字顯示壓力，實時觀察腔體壓力變化情況
中英文操作系統，觸摸屏控制，人機界面友好
電流、電壓實時監測，確保儀器穩定安全運行
清洗時長可在觸摸屏設置，等離子處理時間精確到秒（s）
PLASMA處理結束后，自動泄壓，泄壓時長和大小可調；可通入氮氣泄壓
功率高、中、低三擋可調
02對標國際yi線品牌，*技術空白
國內shou創，13.56MHz頻率用于PLASMA處理
性能bi肩國際一線產商，在控制自動化，人性化設計方面國際領xian
通入氣體和泄壓是獨立通道互不干擾；自動泄壓比手動泄壓更方便
腔體低溫，滿功率運行30分鐘腔體溫度不高于32°C，不損傷樣品
腔體材質為石英，不與等離子體反應，保證樣品不被污染
13.56MHz等離子體處理對材料既有清潔、刻蝕、也有活化改性作用
等離子體從腔體四周發出，對樣品處理更均勻、更*
03細節把控，給用戶更好體驗
石英材質真空腔體不與等離子體產生反應，不會污染樣品
配備的真空泵噪音和油氣污染小，真空度高
真空泵與主機聯動，可在觸摸屏控制真空泵開啟/關閉
1.5米不銹鋼波紋管，比橡膠管更耐用，密封性更好
標配清洗托盤，方便使用
安捷倫Agilent干泵（選配），避免油氣污染
OF-20油污過濾器（選配），避免排氣口油氣對實驗室環境的污染
04經典清洗案例分析
石墨烯粉末清洗、改性，去除粉末雜質和油質，增加石墨烯表面親水基團（-OH）提高親水性
金屬工件油污等離子清洗，不損傷樣品，去除表面油污
PDMS等離子活化改性，提升親水性和鍵合力
ITO導電玻璃親水性處理并提高其功函數
二維材料的清潔、刻蝕
硅片親水性處理，改性、活化表面
05石墨烯粉末VP-R3親水性處理XPS譜圖分析
處理前石墨烯粉末溶于蒸餾水，會粘在瓶壁上
處理后石墨烯粉末上下搖勻后，不會粘在瓶壁
處理前石墨烯粉末很快下沉到瓶底，肉眼可見分層明顯
處理后石墨烯粉末懸浮在水體，說明其親水性增強
綠色曲線為處理前的XPS譜圖，曲線一直都是平穩走向
紅色曲線為處理后的XPS譜圖，曲線在285eV左右有個峰值，
可知石墨烯粉末的性質已改變
處理后石墨烯導熱率可提高40%，穩定性增強
06 ITO導電玻璃等離子VP-R3處理接觸角測量儀分析
CM-180接觸角測定可知，未處理ITO接觸角為80°C，處理后ITO接觸角48°C，親水性明顯增強
處理前平均接觸角、右接觸角和左接觸角三條曲線分離，處理后三條曲線重合，說明ITO表面更平整
VP-R系列滿功率運行30分鐘腔體溫度低于32°C，非常適合ITO導電玻璃不耐熱屬性
通入氧等離子體時，可以提高ITO導電玻璃的功函數
VP-R系列真空等離子清洗機技術規格
| 型號 | VP-R手動版 | VP-R3 | VP-R5 | VP-R10 |
| 腔體材質 | 石英玻璃 | |||
| 腔體容量 | 2L | 3L | 5L | 10L |
| 內腔尺寸 | Φ100x200Lmm | Φ150x200Lmm | Φ150x270Lmm | Φ200x320Lmm |
| 射頻功率 | 160W/200W（高功率版） | |||
| 射頻頻率 | 13.56MHz | |||
| RF放射 | 無 | |||
| 頻率偏移量 | 小于0.2KHz | |||
| 等離子體轟擊 | 從四周向中間 | |||
| 等離子體激發 | 延時自動啟動 | |||
| 腔體溫度 | 滿功率運行30分鐘腔體溫度＜32℃ | |||
| 清洗時間 | 手動設置 | 0 - 1800S 可調 | ||
| 功率調節 | 高、中、低三擋 | 高、中、低三擋可調 | ||
| 顯示屏 | 無 | 4.3寸觸摸屏 | ||
| 操作控制 | 手動控制 | 提供中英文操作界面，觸摸屏控制（設置清洗時間） | ||
| 氣體流量計 | 無 | 高精密2路浮子流量計 | ||
| 提供進氣氣路 | 一路進氣，進氣可調 | 兩路進氣，流量 0-300ml/min可調（常用氣體：氬氣，氧氣，氮氣，氫氣，氨氣等其他混合氣體） | ||
| 進氣管 | 一根6x4PU管 | 兩根6x4PU管，尾端配6轉10快擰接頭 | ||
| 泄壓 | 手動開關泄壓，泄壓速度可調 | 等離子處理結束，自動泄壓，泄壓時長可調。可提供氮氣或其他氣體泄壓通道（選配） | ||
| 真空泵極限真空度 | 5x10?²Pa | |||
| 噪音 | ≤56dB | |||
| 抽真空時間 | 啟動到發出輝光≤35秒（時間可調） | ≤55秒（時間可調） | ||
| 真空檢測 | 無 | 數字顯示 | ||
| 冷卻方式 | 風冷 | |||
| 腔體門 | 帶可視窗鋁合金 | 傳感器識別開/關，帶可視窗高強度鋁合金 | ||
| 真空泵控制 | 主機與真空泵聯動 | 主機與真空泵自動聯動并可在觸摸屏上控制真空泵開啟/關閉 | ||
| 供電電源 | AC220V/50Hz | |||
| 箱體平衡 | 減震橡膠腳杯 | |||
| 外形尺寸(LxWxH) | 420x420x320mm | 560x450x360mm | 650x500x475mm | |
訂購信息
| 標準配置 | 主機、真空泵、1.5米波紋管、兩路/一路（手動版）進氣管、清洗托盤、六角工具、說明書、合格證、保修卡 |
| 選配件 | 1、油污過濾器 2、高硼硅圓形托盤 3、干性真空泵（防止油氣揮發，高潔凈實驗室適用） |
